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蒸镀是在真空状态下, 将镀料加热蒸发或者升华, 使之在工件或基体表面沉积的工厂, 蒸镀具有简单便利、操作容易、沉积速率快等优点, 但存在膜基结合力不理想, 膜层不致密的缺点.
为了解决蒸镀的缺点, 某国内精密仪器镀膜制造商采用伯东 KRI 离子源进行辅助蒸镀.
该制造商采用伯东 KRI 射频离子源 RFICP 380, 同时为了为镀膜工业提供稳定的合适的真空环境, 伯东工程师为制造商搭配大抽速分子泵组 Hicube 700 Pro, 采用金属密封, 极限真空度可达1x10-7hpa, 抽速可达 685 L/s, 很好保证成膜质量.
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
离子源辅助蒸镀运行原理:
在蒸镀时, 通过 KRI 离子源的作用, 使Ar原子离化成Ar+, 产生辉光放点现象, 离子在电场中将蒸发出来的Al原子离化成Ar+, 这些等离子体在电场的作用下对基体进行轰击和镀膜.
运行结果：
蒸镀中由于离子辅助技术的注入, 改善了蒸镀铝膜的组织, 基膜结合力高、耐腐蚀性更好、提高了合金的微动疲劳抗力
上海伯东是美国考夫曼公司 KRI离子源的国内总代理商, 其中KRI 离子源主要型号有:
KRI 射频离子源 RFICP 系列： RFICP 380、RFICP 220、RFICP 140 、RFICP 100、 RFICP 40
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列： KDC 160、KDC 100、KDC 75、KDC 40、KDC 10
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列:eH 3000、eH 2000、eH 1000、eH 400、eH Linear
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
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