产品描述
上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 拥有强大的抽空能力, 对氦气抽速最高可达 25 l/s. 极短的测试时间, 较短的响应时间 < 1 s.
检漏仪 ASM 390, ASM 392 最小检漏漏率:
真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
检漏仪 ASM 390, ASM 392 配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 其中检漏仪 ASM 392 内置 2 台涡轮分子泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间.
检漏仪 ASM 390, ASM 392 是针对大型检漏部件设计研发.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 产品优势：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 技术参数：
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:
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型号 |
ASM 390 |
ASM 392 |
ASM 380 |
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检测气体 |
4He, 3He, H2 |
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最小检测漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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对氦气的抽速 |
10 l/s |
25 l/s, 内置2台分子泵 |
7 l/s |
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前级泵抽速 |
35 m3/h |
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进气口最大压力 |
20 mbar |
20 mbar |
15 mbar |
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无校准的启动时间(20°C) |
2 min |
2 min |
< 4.5 min |
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进气口 |
DN 40 ISO-KF |
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响应时间 |
< 1 s |
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Interface, 选配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
≤ 55 dB (A) |
≤ 55 dB (A) |
53 dB (A) |
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重量 |
125 kg |
130 kg |
110 kg |
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尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
1072 x 455 x 1025 mm |
1065 X 455 X 1025 mm |
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 在售型号：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 目前在售型号:
ASM 390, 通用电压
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板,以太网
ASM 390, 通用电压,可配置的 I/O 接口板,以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域:
可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
