真空泵的技术术语，真空泵除主要特性，极限压力，流量和抽气速率之外，尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。
1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。
2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。
3、最大前级压力。超过它能使泵损坏的前级压力。
4、最大工作压力。对应最大流量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
5、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。
6、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。
7、抽气系数。泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比。
8、返流率。泵在规定条件下工作时，与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率。
9、水蒸气允许量(单位:kg/h) 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的质量流率。
10、最大允许水蒸气入口压力。在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压力。
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