采用特别的样品倒装设计，装取样品简易，无高压线缆外置，样品避免碎粒碎屑沉积，镀膜均匀一致，触摸屏控制，操作简单，不需要手动调节电压电流，只需设置镀膜厚度，真空度，无需操作经验，几分钟即可学会使用。
主要技术指标和特点如下：
------ 三种模式： 金属溅射，样品干燥，真空脱气
------ 厚度可选范围：1nm --- 50nm
------ 气源要求： 氩气 0.6bar
------ 真空度可设定： 5Pa--300Pa
------ 工作时间设定： 1---- 600min
------ 可实现多达12个样品的同时喷涂，样品仓高度可调！
------ 专门设计的样品站，可直接实现Thermo Phenom电镜样品夹的喷涂
------ 双重安全护罩保护，硼硅玻璃样品仓外无高压部件
------ 方便的样品固定和靶材更换
------ 占地小30cm*30cm，重量 ：10.8 Kg，长宽高：340mm*305mm*290mm
------ 电源：230V&50Hz, 不含泵功耗120W，含泵功耗500W
Luxor Au磁控离子溅射仪
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