以下是它的主要用途和功能，分为几个层面来说明：
一、核心功能：超高倍率成像
这是SEM最基本和最重要的功能。它可以轻松地将样品放大几百倍到几十万倍，观察到肉眼和光学显微镜无法分辨的细微结构。
· 应用举例：
· 观察集成电路（芯片）上的纳米级线路和晶体管结构。
· 查看金属材料的晶粒形态、裂纹和断口形貌。
· 观察细菌、病毒、花粉、细胞等生物样品的表面超微结构。
· 分析纤维、涂层、粉末、催化剂等材料的表面形态和分布。
二、不仅仅是形貌：提供多种信息
现代扫描电镜（尤其是日立的高端型号）通常集成了多种探测器，不仅能看形貌，还能提供丰富的其他信息：
1. 微观形貌观察（最常用）
· 如何实现： 通过探测电子束与样品表面相互作用产生的二次电子。
· 特点： 图像具有强烈的立体感和出色的景深，能清晰呈现样品表面的凹凸、裂纹、颗粒等三维形貌。
2. 成分分析（非常重要）
· 如何实现： 通过探测电子束激发的特征X射线（这种附件称为能谱仪，EDS或EDX）。这是日立电镜非常常见的配置。
· 功能：
· 元素鉴定： 分析样品上某个微小点（可达微米甚至纳米级）含有哪些化学元素。
· 元素分布面扫描： 生成元素的分布图，直观显示不同元素在样品哪个区域富集、哪个区域稀少。
· 半定量分析： 大致确定各元素的含量百分比。
· 应用举例：
· 分析金属夹杂物的成分。
· 检查焊点表面的污染元素。
· 鉴别矿物相的种类。
3. 晶体结构信息
· 如何实现： 通过探测背散射电子。
· 功能：
· 成分衬度像： 平均原子序数越大的区域越亮，可用于快速区分不同成分的区域（如区分铝和铝中的铁杂质）。
· 取向衬度像： 显示样品中不同晶粒的晶体学取向。
三、主要应用的行业和领域
基于以上强大功能，日立扫描电镜被广泛应用于：
· 材料科学： 研究金属、陶瓷、高分子、复合材料等的微观结构、断裂机理、相组成等。
· 半导体与电子工业： 芯片设计、制造、失效分析、工艺监控、线宽测量等，是必不可少的工具。
· 生命科学： 观察生物组织、细胞、微生物的超微结构，常用于医学和生物学研究。
· 地质学和矿物学： 分析矿物的形态、结构和成分，进行岩矿鉴定。
· 纳米技术： 表征纳米材料（如纳米管、纳米颗粒）的形貌和尺寸。
· 工业生产与失效分析： 对产品质量进行监控，分析产品（如金属零件、涂层）为何会断裂、腐蚀或失效。
四、产品特点
FexSEM10001，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压 20KV下实现 4.0nmn 的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能"SEM MAP”，该功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。
1、小型高性能的电子光学镜筒
尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型”电子显微镜，却具备同类产品中最高的分辨率，仍可实现 4.0nm 的分辨率。
*1:设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离
2、高成像质量
·配备可优化的发射束流功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。
·凭借独特的高灵敏度二次电子检测器、背散射电子检测器、低真空检测器(VD”)，可在低加速电压!低真空下观察时实现高质量图像。
3、实用的高画质和快速观察能力
·全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力。
·搭载 GUL和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮，就可以获得最佳的图像。(自动调节;与以往相比，缩短时间约13 秒”)
当然，也可以通过触屏进行操作。
