公司名：深圳捷微洛克科技有限公司
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全自动和半自动GC特气柜 BSGS特气柜 VMB特气柜 TMA特气柜 Scrubber尾气处理柜 特气分配柜 VDB特气柜 VDP特气柜
技术参数
| 型号 | JW-200-GC |
| 规格 | 单瓶/双瓶 |
| 专用气柜尺寸 | 双瓶: W800*D633*H2172 , 单瓶: W600*D661*H2104 |
| 控制柜电源 | 控制电源: 220VAC, 50HZ, 500W, 加热电源: 220VAC, 50HZ, 1-6KW |
| 吹扫 | PN2,1/4”MVCR |
| 高压保持 | HPN2,1/4”MVCR |
| 真空 | GN2.1/4” MVCR |
| 排气 | 1/2” MVCR |
| 气动气源 | CDA driver, 1/4″ SWG |
| 气柜通风口 | 外径150MM，硅烷810m³/小时；其他204m³/小时 |
| 标准配置 | 自动切换、自动吹扫、防爆、防泄漏柜体、防爆自锁门、防爆玻璃观察窗、泄漏报警、远程断电、负压报警 |
| 操作界面 | 10英寸彩色触摸屏 |
可选
*紫外/红外火焰探测器
*气缸关闭装置
*面板加热装置
*以太网通讯模块
*CGA Guarder 保护装置
*过流开关
*气缸控制
*称重秤
*气缸加热装置
特气柜是一种用于供应和管理特种气体的设备，主要用于半导体、LED等新兴产业的生产过程中。这些特种气体包括易燃、易爆、剧毒等具有一定危险性的气体，如硅烷（SiH4）等。
在CVD（化学气相沉积）等生产过程中，特气柜发挥着至关重要的作用。它能够满足生产过程中对气体原材料的高纯度和连续稳定供给的要求，确保生产正常进行和员工人身安全。特气柜内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局，使得气体在传送过程中经过多次自动吹扫，避免被气体杂质污染，保证气体原材料的纯度。
此外，特气柜还具有报警侦测警报功能，在紧急情况下会自动安全切断，保障生产安全和人员安全。全自动特气柜的柜体板材厚度不低于2.5mm，有防腐蚀涂层，柜门关闭时，气瓶柜内部处于负压状态，柜内的排风换气的频率不低于300次/H，从而确保特气柜在各种环境下都能稳定运行。
